|
Untitled Document
|
 |
| |
|
| |
|
| |
 |
|
| |
| |
| Edge Exposure |
| |
 Application |
|
| 기판의 반입?반출,기판의
위치결정, 조도 보정등을 완전 자동화한 이 장비는 TFT액정 ARRAY공정에
있어서 Pannel의 Patterning을 하지 않고 주변부분의
레지스트를 제거하기 위해서 노광하는 장비입니다. |
| |
|
|
| |
 |
| |
| Product
Feature |
|
- 기판 중앙부분의 노광도 가능합니다.(Option)
- Skip / Step 노광 가능합니다. (Option) |
| |
| *
Toray Engineering사 OEM 공급제품입니다. |
| |
|
 |
|
|
|
|
;){kind=small}
